고효율 필터가 pao 검사를 할 필요가 있습니까

1. "클린 룸 시공 및 검수 사양" (JGJ71-90) 에 따르면, 검사된 고효율 필터는 공기량을 감지하고 풍속 80-120 사이에서 작동하도록 설계해야 하며, 검사된 고효율 필터의 바람쪽에 있는 입자 농도는 통제된 입자 크기에 대해 0.5um 입자의 농도에 대해 3.5x10 이어야 합니다. O.lum 의 입자 농도는 3. 5 X 10'-3. 5 X 10 섹션 c/L 이어야 합니다. 최소 샘플링. h.gt； 사용 1L/min 의 입자 카운터 스캔 방법, 고효율 필터 장착 이음새 및 주 횡단 스캔 감지, 검사점은 테스트된 표면에서 20-30mm, 프로브는 5-20mm/s 로 이동해야 합니다. 검사된 필터의 전체 단면, 봉투 헤드 및 장착 프레임에서 스캔합니다.

. 2.' 청정실 시공 및 검수 규범' 에서 고효율 필터 하풍측 누설 농도로 변환된 관통율로 합격 여부를 측정하도록 규정하고 있으며, 합격기준은 다음과 같다. 효율적인 필터의 경우:

K'=1 R

K=c2/cl

K' 는 고효율 필터의 정격 투과율을 나타냅니다.

N 은 고효율 필터의 정격 효율성을 나타냅니다.

K 는 고효율 필터의 실제 누설 률을 나타냅니다.

Cl 은 바람이 부는 쪽의 먼지 농도를 나타냅니다.

C2 는 고효율 필터의 하풍 쪽에 먼지 농도가 있음을 나타냅니다.

규범에 따르면 고효율 필터의 실제 누출률은 정격 투과율의 2 배, 즉 K, LT 보다 클 수 없습니다. 2 k' 입니다.

3. 실제 문제

고효율 필터는 일반적으로 시스템 공기량과 각 공기 흐름의 균형이 조정된 후 수행되며, 사양에 따라 각 공기 흐름과 설계의 바람 최대 편차는 15 미만이며, 이는 설계 풍속에 근접한 공기 흡입구의 조건을 충족합니다. 따라서 바람이 가장 균형 잡힌 후에는 효율적인 필터 누출 감지 작업을 제때에 수행해야 한다.