정전기 MEMS 갈바 노 미터 원리

< /p>

이 시스템은 정전기에 크게 의존합니다. < /p>

정전기 MEMS 진동경은 마이크로전기 시스템 기술을 기반으로 한 작은 구동 반사경입니다. 정전기 MEMS 진동경의 작동 원리는 주로 정전기에 의존한다. 정전력은 전하 간의 상호 작용력이며 MEMS 진경에 가해진 전기장이 변경되면 진동경의 모양도 그에 따라 변경되어 반사 빔을 제어할 수 있습니다. < /p>

정전기 MEMS 진동경은 주로 전기 구동, 정전기 구동, 전자기 구동 및 압전 구동의 네 가지 방법으로 구동됩니다. 그 중 정전기 구동 MEMS 진동경 연구는 가장 먼저 성숙했고, 구동 전압이 상대적으로 높고, 편각이 작고, 스캔 주파수가 높아 마이크로프로젝션과 광통신 제품에 적합하다. < /p >