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EDX, 전체 이름 energy dispersive X-ray spectroscopy, 에너지 분산 x-레이 분광계, EDX 는 분석 샘플에서 방출되는 요소 특성 x-레이 파장 및 강도를 통해 구현됩니다. < /p>
는 다양한 요소 특성 X-레이 파장에 따라 샘플에 포함된 요소를 측정합니다. 서로 다른 요소 스펙트럼 선의 강도를 비교하여 샘플 중 원소의 함량을 측정할 수 있다. < /p>
보통 EDX 는 전자현미경과 함께 사용되어 샘플에 대한 마이크로영역 성분 분석을 할 수 있다. < /p>
확장 데이터: < /p>
특정 요소 1 이 포함된 샘플에서 x 선을 한 번 비추면 요소 1 의 형광 x 선이 생성되지만 이 시점에서 형광 x 선의 강도는 샘플의 요소 1 함량에 따라 달라집니다. < /p>
요소 1 의 함량이 많으면 형광 X 선의 강도가 강해집니다. 이는 알려진 농도 샘플의 형광 X 선 강도를 미리 알면 샘플 중 요소 1 의 함량을 추정할 수 있다는 것을 알 수 있습니다. < /p>
정량 분석을 할 때 샘플에 고순도 실리카를 기준 샘플로 추가할 수 있으며, 함량은 알려져 있습니다. 이렇게 하면 다른 성분의 함량을 간접적으로 알 수 있다. < /p >