클린룸은 클린룸을 의미합니다.
클린룸(클린룸, 클린룸 또는 클린룸)은 오염 수준이 낮은 환경을 의미하며, 여기서 말하는 오염원에는 먼지, 공기 중 미생물, 부유 입자, 화학적 휘발성 가스가 포함됩니다. 클린룸, 클린룸 또는 클린룸으로도 알려진 클린룸은 오염 수준이 낮은 환경을 의미합니다.
여기서 언급되는 오염원에는 먼지, 공기 중 미생물, 부유 입자, 화학적 휘발성 가스 등이 포함됩니다. 보다 정확하게는 클린룸의 오염 수준이 제어되며, 이는 입방 미터당 입자 수 또는 최대 입자 크기에 따라 결정될 수 있습니다. 저급 클린룸은 일반적으로 소독되지 않으며 클린룸의 먼지에 더 많은 주의를 기울입니다.
클린룸의 정의는 공간 내 공기 중의 먼지 입자와 기타 오염 물질을 제거하여 상당히 깨끗한 환경을 만드는 것입니다. 즉, 이 환경에는 먼지 입자가 거의 없으므로 클린룸이라고 합니다.
클린룸은 반도체 생산, 생화학 기술, 생명 공학, 정밀 기계, 제약, 병원 수술실 등 특히 환경 오염에 민감한 산업에서 널리 사용됩니다. 특히 실내 온도, 습도, 청결도에 대한 요구사항이 엄격하므로 제조 공정에 영향을 미치지 않도록 일정 범위 내에서 관리해야 합니다.
클린룸 에어컨의 특징:
1. 일반적으로 에어컨의 요구 온도는 18°C 사이입니다. 26°C, 상대 습도는 40~65 사이입니다. 클린룸 에어컨은 22°C~24°C 사이에서 제어해야 하며, 상대 습도는 45~55 사이입니다.
2. 항온항습 제어 반도체 제조 공정은 온도와 습도 변화에 매우 민감하기 때문에 클린룸의 대부분의 영역은 ±1°C~±3°C 범위 내에서 제어되어야 합니다.
3. 반도체 공장의 공정 시스템은 다량의 화학물질과 유독가스를 사용하기 때문에 이러한 화학물질과 유독가스로 인해 발생하는 휘발성 가스와 폐가스가 발생합니다. 가스를 완전히 제거해야 하며, 클린룸의 압력을 외부 대기압보다 높게 유지하기 위해 이때 추가되는 공기의 양도 증가합니다.